語言選擇：
ESA100/150是圓柱鏡面對稱的緊湊型能量分析儀，可以安裝或者改進標準的系統。新的分析儀具備：較大的工作距離，距光譜儀約有33mm；可調節的能量分辨率和分辨能力，以及電子可選擇；可以測量較大的樣品面積，對樣品位置無苛刻要求；對樣品位置的能量校準具備非常好的穩定性；寬能量范圍的完整電子源；通過電腦上的多功能軟件完整的控制分析儀。
ESA法蘭尺寸是CF100或6英寸的，樣品位置通過設備前面板顯示，顯示出樣品周圍較寬的可用范圍。從法蘭到樣品有較大的距離，可以根據標準的或者特殊的腔體加裝特殊的轉接口以便安裝ESA能量分析儀。電子槍提供具有寬范圍能量掃描能力的非常好的聚焦光束。樣品可選擇的SEM成像功能可以在測試區域精確選擇。
特點：
能量范圍：10-2500eV
分辨率：1-10eV，電子可調
能量分辨率由于REELS應用的原始束流能量
分辨能力：0.1%-0.6%，電子可調
分析模式：dE=常數，dE/E=常數，電子可選
探測：鎖相技術；脈沖計數技術
數據收集：多功能WinSpectro XP和分析軟件收集，可以對能量，分辨率，分析模式，電子倍增器控制；WinSpectroSEM軟件和SEM附件可以對樣品沿XY掃描和成像。
超高真空設計，烘烤溫度最高為250℃。
聯系人：張娜娜
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